[发明专利]微机械压电三轴陀螺仪和基于层叠式横向交迭换能器（SLOT）的3轴加速计

摘要

本公开提供了用于制造和使用x轴陀螺仪、y轴陀螺仪、z轴陀螺仪、两轴加速计和三轴加速计的系统、方法和装置，包括编码在计算机存储介质上的计算机程序。组合用于此类器件的制造工艺可使得能够将六个惯性感测轴单片地集成在单个基板（诸如单个玻璃基板）上。此类器件可被包括在移动设备中，诸如移动显示设备。

主权项

一种装置，包括：基板，其基本上在第一平面内延伸；第一多个电极，其基本上沿第一轴形成于所述基板上；第二多个电极，其基本上沿第二轴形成于所述基板上；第一锚，其附连至所述基板；框架，其附连至所述第一锚且基本上在第二平面内延伸，所述框架被基本上约束成用于进行沿所述第二轴的运动；以及第一检验质量块，其附连至所述框架且基本上在所述第二平面内延伸，所述第一检验质量块具有沿所述第一轴延伸的第一多个槽和沿所述第二轴延伸的第二多个槽，所述第一检验质量块被基本上约束成用于进行沿所述第一轴以及沿所述第二轴的运动，其中所述第一检验质量块响应于沿所述第一轴所施加的横向加速度而进行的横向移动导致所述第二多个电极处的第一电容变化，并且其中所述第一检验质量块响应于沿所述第二轴所施加的横向加速度而进行的横向移动导致所述第一多个电极处的第二电容变化。