[发明专利]高通量太阳能电池烧蚀系统有效
| 申请号： | 201180032547.4 | 申请日： | 2011-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN102985213A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 加布里埃尔·哈利;托马斯·帕斯;彼得·约翰·卡曾斯;约翰·维亚特拉 | 申请（专利权）人： | 太阳能公司 |
| 主分类号： | B23K26/073 | 分类号： | B23K26/073 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 陈源;崔利梅 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及使用太阳能电池烧蚀系统(100)形成一种太阳能电池。所述烧蚀系统(100)包括单激光源(102)和多个激光扫描器(104)。所述激光扫描器(104)包括主激光扫描器，而其余的所述激光扫描器(104)从属于所述主激光扫描器。将来自所述激光源(102)的激光束分离成多个激光束，根据一个或多个图案使用所述激光扫描器(104)将所述激光束扫描到对应的晶片上。所述激光束可以使用与所述激光源(102)相同或不同的功率级扫描到所述晶片上。 | ||
| 搜索关键词： | 通量 太阳能电池 系统 | ||
【主权项】：
一种制造太阳能电池的方法，所述方法包括：从单激光源产生激光束；将所述激光束沿着第一激光束路径和第二激光束路径分离；在第一扫描步骤中，沿着所述第一激光束路径引导所述激光束，以根据第一图案扫描第一工位中的第一晶片；将所述第一晶片从所述第一工位移动到第二工位，并且将第二晶片移动到所述第一工位；在所述第一扫描步骤之后以及移动所述第一晶片和所述第二晶片之后的第二扫描步骤中，沿着所述第二激光束路径引导所述激光束，以根据第二图案扫描所述第二工位中的所述第一晶片，所述第二图案是所述第一图案的镜像，并且沿着所述第一激光束路径引导所述激光束，以根据所述第一图案扫描所述第二晶片，对所述第一晶片和所述第二晶片的扫描实质上同时进行。
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