[发明专利]功能化微机械器件中所含流体管道的方法、含其的微机械器件及其制造方法有效
| 申请号： | 201180032552.5 | 申请日： | 2011-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN103025648A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 文森特·阿加什;安东尼·欧昂;弗朗索瓦丝·维内 | 申请（专利权）人： | 原子能和替代能源委员会 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人： | 张颖玲;徐川 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于使微机械器件中的流体管道(1b)功能化的方法，所述流体管道的壁包括不透明层。为此目的，本发明提供一种用于使设置有流体管道的微机械器件功能化的方法，所述流体管道包括外围壁(5)，所述外围壁具有在所述管道外面的表面(2)和内表面(3)，所述内表面限定流体能在其中循环的空间(1b)，所述外围壁至少部分地包括硅层(5a)。所述方法包括下列步骤：a)提供器件，所述器件的外围壁(5)至少部分地包括至少局部具有大于100nm且小于200nm，有利地为160～180nm厚度(e)的硅层(5a)；c)至少硅烷化所述流体管道的内表面；d)通过在所述壁上具有大于100nm且小于200nm，有利地为160～180nm厚度的点处使所述外围壁曝光，而至少在硅烷化器件的内表面上局部地、选择性地光去保护。 | ||
| 搜索关键词： | 功能 微机 器件 流体 管道 方法 及其 制造 | ||
【主权项】：
一种方法，所述方法用于使设置有流体管道(1b)的微机械器件功能化，所述流体管道(1b)包括外围壁(5)，所述外围壁(5)具有在所述管道外部的表面(2)和内表面(3)，所述内表面(3)限定流体能在其中循环的空间(1b)，所述外围壁至少部分地包括硅层(5a)，其特征在于，所述方法包括下列步骤：a)提供器件，所述器件的外围壁(5)至少部分地包括至少局部具有大于100nm且小于200nm，有利地具有160～180nm的厚度(e)的硅层(5a)；c)至少硅烷化所述流体管道的内表面；d)通过在具有大于100nm且小于200nm，有利地具有160～180nm之间的厚度(e)的点处曝光所述外围壁(5)，而至少在硅烷化的器件的内表面上局部地选择性光去保护。
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