[发明专利]氟系表面活性剂、使用其的涂层组合物以及抗蚀剂组合物有效
| 申请号： | 201180033318.4 | 申请日： | 2011-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN102971391A | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 笹本慎;铃木秀也 | 申请（专利权）人： | DIC株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/00 | 分类号： | C09K3/00;C08F290/06;C09D7/12;C09D201/00;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种氟系表面活性剂，其为将具有聚（全氟亚烷基醚）链并在其两末端具有的聚合性不饱和基团的聚合性单体（A）、和具有氧化亚烷基以及聚合性不饱和基团的聚合性单体（B）作为必需的单体共聚而成的共聚物。该氟系表面活性剂为其结构上不能生成对环境以及生物体的蓄积性高的PFOS或者PFOA的表面活性剂，而且即便含氟率比具有碳原子数8以上的氟代烷基的表面活性剂更低，也会具有更优异的降低表面张力的能力。因此，该氟系表面活性剂可以作为涂层组合物、抗蚀剂组合物等的流平剂适宜使用。 | ||
| 搜索关键词： | 表面活性剂 使用 涂层 组合 以及 抗蚀剂 | ||
【主权项】：
一种氟系表面活性剂，其特征在于，其为将具有聚（全氟亚烷基醚）链并在其两末端具有聚合性不饱和基团的聚合性单体（A）、和具有氧化亚烷基以及聚合性不饱和基团的聚合性单体（B）作为必需的单体共聚而成的共聚物。
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