[发明专利]漏泄检查装置及漏泄检查方法

摘要

一种对被配置于被检验体室（21）内的被检验体的漏泄流量进行检查的漏泄检查装置及漏泄检查方法，具备向被检验体室（21）的内部供给探伤液体并加压至0.1MPa以上的高压的液体供给加压单元（11）；真空排气单元（22-b、23-b）；四极质谱仪（34），将被检验体室（21）形成为真空，向被检验体的内部供给探伤液体并加压至0.1MPa以上，并利用四极质谱仪（34）对从被检验体漏出而在真空中气化的探伤介质的浓度进行测定，由此测定从被检验体漏泄的漏泄流量。作为探伤介质使用液体能够定量漏泄流量，并且同时能够实现0.1MPa以上的大气压以上尤其是1MPa以上到1GPa的高压力的耐压检查。

主权项

一种漏泄检查装置，该漏泄检查装置对被检验体的漏泄流量进行检查，该漏泄检查装置的特征在于，所述漏泄检查装置具备：配置所述被检验体的能够密闭的被检验体室；液体供给加压单元，该液体供给加压单元能够与配置于所述被检验体室内的被检验体连接，向所述被检验体的内部供给探伤液体并进行加压；真空排气单元；以及质谱仪，该质谱仪被连接于所述被检验体室，在将所述被检验体室密闭的状态下利用所述真空排气单元将所述被检验体室形成为真空，向与所述液体供给加压单元连接且被密闭的所述被检验体的内部供给探伤液体并加压至0.1MPa以上，并利用所述质谱仪对从所述被检验体漏出而在真空中气化的探伤介质的浓度进行测定，由此测定从所述被检验体漏泄的漏泄流量。