[发明专利]固化膜形成方法

摘要

本发明提供一种正型感光性树脂组合物的固化膜形成方法，其是在支撑体上形成正型感光性树脂组合物的固化膜的方法，包括：在上述支撑体上涂敷上述正型感光性树脂组合物的涂敷工序；对上述正型感光性树脂组合物有选择地照射化学射线进行曝光的曝光工序；用碱性显影液对上述正型感光性树脂组合物的曝光部进行显影的显影工序；用清洗液清洗上述显影液，并且将上述正型感光性树脂组合物的曝光部除去的清洗工序；和对上述正型感光性树脂组合物进行加热，形成固化膜的固化工序，上述清洗工序包括：在使上述支撑体以圆周速度0.53m/s以下旋转的同时供给上述清洗液的第一清洗工序；和在使上述支撑体以比上述第一清洗工序快的圆周速度旋转的同时供给上述清洗液的第二清洗工序。

主权项

一种正型感光性树脂组合物的固化膜形成方法，其是在支撑体上形成正型感光性树脂组合物的固化膜的方法，其特征在于，包括：在所述支撑体上涂敷所述正型感光性树脂组合物的涂敷工序；对所述正型感光性树脂组合物有选择地照射化学射线进行曝光的曝光工序；用碱性显影液对所述正型感光性树脂组合物的曝光部进行显影的显影工序；用清洗液清洗所述显影液，并且将所述正型感光性树脂组合物的曝光部除去的清洗工序；和对所述正型感光性树脂组合物进行加热，形成固化膜的固化工序，所述清洗工序包括：在使所述支撑体以圆周速度0.53m/s以下旋转的同时，或者在使所述支撑体静止的状态下，供给清洗液的第一清洗工序；和在使所述支撑体以比所述第一清洗工序快的圆周速度旋转的同时供给清洗液的第二清洗工序。