[发明专利]多晶硅锭制造装置、多晶硅锭的制造方法及多晶硅锭有效
| 申请号： | 201180035585.5 | 申请日： | 2011-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN103003200A | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 续桥浩司;胁田三郎;池田洋;金井昌弘 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社;三菱材料电子化成株式会社 |
| 主分类号： | C01B33/02 | 分类号： | C01B33/02;C30B28/06;C30B29/06;H01L31/04 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 康泉;王珍仙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够减少底部的氧浓度局部变高的部分来大幅提高多晶硅的生产成品率的多晶硅锭制造装置、多晶硅锭的制造方法及多晶硅锭。本发明的多晶硅锭制造装置（10），具有：截面呈矩形的坩埚（20）；配设于该坩埚（20）上方的上部加热器（43）；及配设于坩埚（20）下方的下部加热器（33），且使积存于坩埚（20）内的硅熔融液（3）从其底面（21）朝向上方单向凝固，其特征在于，具备在坩埚（20）的底面（21）侧对坩埚（20）的侧壁部（22）的至少一部分进行加热的辅助加热器（50）。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 制造 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅锭制造装置，具有：水平截面为矩形的坩埚；配设于该坩埚的上方的上部加热器；及配设于所述坩埚的下方的下部加热器，使积存于所述坩埚内的硅熔融液从所述坩埚的底面朝向上方单向凝固，其特征在于，具备对所述坩埚的侧壁部中所述底面侧的至少一部分进行加热的辅助加热器。
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