[发明专利]测量多个器件中的层的厚度的方法及生产的器件

摘要

本发明涉及测量多个器件中的层的厚度的方法及生产的器件。所述技术包括：生产根据公共的生产工艺的多种器件；并且使用取决于器件的第一元件与经由所述层部分下垫于所述第一元件之下的器件的第二元件之间的重叠面积的第一电性质的指示值来确定所述多个器件之一的层的厚度，其中该方法还包括：另外使用取决于器件的所述第一元件与同样经由所述层而部分地位于所述第一元件下方的器件的第三元件之间的重叠面积的第二电性质的指示值，其中与所述第一电性质的指示值(b)相比，在所述第一电性质的测量指示值(i)与所述第二电性质的测量指示值(ii)之间的差值(a)提供所述层的厚度的更可靠的指示值。

主权项

一种测量多个电子器件中的层的厚度的方法，所述多个电子器件根据公共的批量生产工艺生产，其中所述多个电子器件中的每一个包括经由层在第一元件与第二元件之间的部分重叠的面积，以及经由所述层在所述第一元件与第三元件之间的部分重叠的面积，所述方法包括：使用取决于经由所述层的所述第一元件与所述第二元件之间的所述部分重叠的面积的第一电性质的测量的指示值以及使用取决于经由所述层的所述第一元件与所述第三元件之间的所述部分重叠的面积的第二电性质的测量的指示值来确定所述层的厚度，其中所述第一电性质的所述测量的指示值与所述第二电性质的所述测量的指示值之间的差值提供比所述第一电性质的所述指示值更可靠的所述层的厚度的指示值；并且所述第一元件与所述第二元件之间的所述部分重叠的面积与所述第一元件与所述第三元件之间的所述部分重叠的面积存在着非零面积差，并且其中相比于所述生产工艺在所述多个器件内在所述第一元件与所述第二元件之间的所述部分重叠的面积方面产生的变化，所述生产工艺在所述多个器件之间在所述非零面积差方面产生更小的变化，并且其中所述层的所述厚度所做的确定不使用所述第一元件与所述第二元件之间的所述部分重叠的面积和所述第一元件与所述第三元件之间的所述部分重叠的面积的值。