[发明专利]高速、宽光学带宽和高效谐振腔增强的光电检测器有效

专利信息
申请号: 201180036050.X 申请日: 2011-07-12
公开(公告)号: CN103026504A 公开(公告)日: 2013-04-03
发明(设计)人: O·I·多孙穆;A·刘 申请(专利权)人: 英特尔公司
主分类号: H01L31/103 分类号: H01L31/103;H01L31/0216
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 陈松涛;王英
地址: 美国加*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 单个光学接收机具有光电检测器,其具有宽光学带宽和在宽光学带宽内的高效率,所述光电检测器包括:第一掺杂类型的第一二极管区,用以接收光;第二掺杂类型的第二二极管区,具有第二厚度;活性区,用于将所接收的光转换为电子信号,所述活性区具有第三厚度,并被配置为位于所述第一二极管区与所述第二二极管区之间;以及反射器,耦合到所述第二二极管区,具有第四厚度的硅层,所述硅层位于第五厚度的氧化硅层之间,其中,所述活性区被配置为吸收波长小于900nm的光,并且其中,所述反射器被配置为反射波长范围为1260nm到1380nm的光。
搜索关键词: 高速 光学 宽和 高效 谐振腔 增强 光电 检测器
【主权项】:
一种光电检测器,包括:第一掺杂类型的第一二极管区,用以接收光;第二掺杂类型的第二二极管区,具有第二厚度;活性区,用于将接收的光转换为电子信号,所述活性区具有第三厚度,并被配置为位于所述第一二极管区与所述第二二极管区之间;以及反射器,耦合到所述第二二极管区,且具有第四厚度的硅层,所述硅层位于第五厚度的氧化硅层之间,其中,所述活性区的第三厚度被配置为吸收波长小于900nm的光,并且其中,所述反射器的第四和第五厚度被配置为反射波长范围为1260nm到1380nm的光。
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