[发明专利]RF功率分配装置和RF功率分配方法有效
| 申请号： | 201180036298.6 | 申请日： | 2011-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN103026800A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 金宰显;李相元;李容官 | 申请（专利权）人： | 株式会社普来马特 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H03H7/40 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 张梅珍;陈桂香 |
| 地址： | 韩国大*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种RF功率分配装置和RF功率分配方法。所述装置包括：阻抗匹配网络，其传送来自RF功率源的功率；以及功率分配单元，其向至少一个产生容性耦合等离子体的电极分配来自阻抗匹配网络的输出功率。功率分配单元包括：第一电抗元件，其串联连接至第一电极；可变电容器，其一端与所述第一电抗元件和所述第一电极并联连接，且另一端接地；以及第二电抗元件，其一端连接至第一节点，且另一端连接至第二节点，其中，所述可变电容器的一端和所述第一电抗元件的一端在第一节点处彼此接触，第二电极和所述阻抗匹配网络的输出端在第二节点处连接。 | ||
| 搜索关键词： | rf 功率 分配 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种功率分配装置，其包括：阻抗匹配网络，其配置为传送来自RF功率源的功率；以及功率分配单元，其配置为向至少一个产生容性耦合等离子体的电极分配来自所述阻抗匹配网络的输出功率，其中，所述功率分配单元包括：第一电抗元件，其串联连接至第一电极；可变电容器，其一端并联连接至所述第一电抗元件和所述第一电极，且另一端接地；以及第二电抗元件，其一端连接至第一节点，且另一端连接至第二节点，其中，所述可变电容器的所述一端和所述第一电抗元件的一端在所述第一节点处彼此接触，第二电极和所述阻抗匹配网络的输出端在所述第二节点处连接。
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