[发明专利]机电换能器及其制造方法

摘要

本发明涉及机电换能器及其制造方法，其中，在形成分割沟槽或膜期间维持基板刚度以防止基板被损坏。所述机电换能器包括分别具有至少一个单元的多个元件。在第一基板上形成绝缘层，并且，在绝缘层中形成间隙（3）。第二基板与具有间隙的绝缘层接合。然后，分割沟槽在第一基板中形成并至少部分地被绝缘部件填充。然后，与绝缘层接合的第二基板的厚度减小以形成膜（10）。

主权项

一种机电换能器的制造方法，所述机电换能器包括各自具有至少一个单元的多个元件，该方法包括：在第一基板上形成绝缘层并在绝缘层中形成间隙；使第二基板与具有所述间隙的绝缘层接合；减小第二基板的厚度；在绝缘层的具有所述间隙的一侧的相对侧，在第一基板中形成分割沟槽以形成多个元件；以及用绝缘部件至少部分地填充第一基板的分割沟槽，其中，在使第二基板与绝缘层接合的步骤之后，进行所述在第一基板中形成分割沟槽以形成多个元件的步骤和所述用绝缘部件至少部分地填充第一基板的分割沟槽的步骤，以及在所述用绝缘部件至少部分地填充第一基板的分割沟槽的步骤之后，进行所述减小第二基板的厚度的步骤。