[发明专利]用于制造透明的电极的方法，用于制造光伏电池的方法以及装置

摘要

一种用于在衬底（101）上制造透明的电极（110）的方法，包括：提供衬底（101），将第一透明的能导电的层（111）沉积到衬底（101）上，将金属氧化物层（115）沉积到能导电的层（111）的背离衬底（101）的表面（114）上，通过热分解将金属氧化物层（115）分裂成多个金属颗粒（112），将第二透明的能导电的层（113）沉积到金属颗粒（112）上。为制造光伏电池将光敏层堆叠（120）沉积到第二透明的能导电的层（113）上。这样制造的光伏电池具有多个由金属氧化物构成的金属颗粒（112）。

主权项

用于在衬底（101）上制造透明的电极（110）的方法，包括：‑提供所述衬底（101），‑将第一透明的能导电的层（111）沉积到所述衬底（101）上，‑将金属氧化物层（115）沉积到所述能导电的层（111）的背离所述衬底（101）的表面（114）上，‑通过热分解将所述金属氧化物层（115）分裂成多个金属颗粒（112），‑将第二透明的能导电的层（113）沉积到所述金属颗粒（112）上。