[发明专利]脉冲型气体放电激光器的高精度同步

摘要

两个准分子激光器具有各自的脉冲电路，每个脉动电路均包括存储电容器，所述存储电容器被充电且然后通过脉冲变压器放电以产生电脉冲，所述电脉冲被传送到激光器以产生光脉冲。电脉冲的产生和光脉冲的生成之间的时间取决于电容器的充电电压。电容器在彼此分离的同时被充电。通过在电容器被充电之后的短时间段内将电容器连接在一起使得电脉冲的产生同步以使充电电压均衡。电容器在被放电之前彼此分离。

主权项

用于激励第一和第二气体放电激光器的电气装置，包括：第一和第二存储电容器；第一和第二高压电源，其被布置为分别对所述第一和第二存储电容器进行充电；第一和第二脉冲形成电路，其被布置为使所述第一和第二存储电容器放电以产生第一和第二电脉冲并且将所述第一和第二电脉冲分别传送到所述第一和第二气体放电激光器；以及开关布置，其被布置为通过所述脉冲形成电路使所述第一和第二存储电容器在其放电之前在预定时间段内连接在一起，用于使所述电容器在其放电之前的充电电压均衡。