[发明专利]渗漏检测装置有效
申请号: | 201180038350.1 | 申请日: | 2011-07-20 |
公开(公告)号: | CN103119413A | 公开(公告)日: | 2013-05-22 |
发明(设计)人: | 乌尔里希·多布勒 | 申请(专利权)人: | 英福康有限责任公司 |
主分类号: | G01M3/20 | 分类号: | G01M3/20 |
代理公司: | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人: | 张全文 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 渗漏检测装置具有测试入口(10),且包含测试样品的测试室可与之连接。高真空泵(12)在测试气体检测器(11)中产生高真空。初步真空泵(20)包括两个泵级(22,23)。为了对该测试室抽真空,该泵级(22,23)以并联模式运行,使得它们的吸力累加。在实现必要的真空时,该泵级(22,23)串联运行以在测试气体探测器(11)上产生必要的高真空-这是高探测灵敏度所需要的。 | ||
搜索关键词: | 渗漏 检测 装置 | ||
【主权项】:
一种渗漏检测装置,包括用于连接测试室的测试入口(10),连接至测试气体探测器(11)的高真空泵(12),和包括至少两个泵级(22,23)的预真空泵(20),其特征在于,塞子(25)安装于所述预真空泵的所述泵级(22,23)之间且所述泵级可选择性地串联运行或并联运行。
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