[发明专利]位置测量装置

摘要

本发明涉及一种位置测量装置，包括至少一个实物量具，具有光学结构，优选3D反射镜设置，至少一个光接收器，离实物量具一段距离设置，一个光源，离实物量具一段距离设置，并离光接收器一段距离设置，和至少一个透明基板，设置在实物量具和光接收器之间。光接收器以由多层叠加层组成的薄膜结构的形式直接沉积在透明基板上，在基板的朝向远离实物量具的侧面上。本发明其特征在于设置具有条形导体的一个载体板，其上设置有基板，透明基板和载体板通过倒装芯片装配以固定方式相互连接，实物量具包括至少两个具有光学元件的码道，第一码道用于产生增量信号，光接收器形成为感应区，由多个光接收器元件组成。设置至少一个第一和一个第二感应区，第一感应区以这样的方式实施以与第一码道配合用于产生增量信号，第二感应区以这样的方式实施以与作为索引码道或编码码道的第二码道配合。

主权项

一种位置测量装置，具有‑至少一个实物量具，具有光学结构，优选3‑D反射镜设置，‑至少一个光接收器，离实物量具一段距离设置，‑一个光源，离实物量具一段距离设置，并离光接收器一段距离设置，和‑至少一个透明基板，存在实物量具和光接收器之间，其中光接收器以由相互叠放设置的几层组成的薄膜结构的形式直接沉积在透明基板上，在基板的相对于实物量具的侧面上，其特征在于，‑一个具有电路板导体的支撑板，其上设置有基板，其中透明基板和支撑板通过倒装芯片装配牢固地接合在一起，‑实物量具具有两个或更多个具有光学元件的码道，其中第一码道用于产生增量信号，和‑光接收器形成为感应区，在每种情况下由多个光接收器元件组成，其中设置至少一个第一和一个第二感应区，其中第一感应区设计用于与第一码道相互作用用于产生增量信号，其中第二感应区设计用于与作为索引码道或编码码道的第二码道相互作用。