[发明专利]正型感光性硅氧烷组合物

摘要

一种正型感光性硅氧烷组合物，其含有聚硅氧烷(Ia)、聚硅氧烷(Ib)、重氮基萘醌衍生物以及溶剂，该聚硅氧烷(Ia)通过将由通式(1)：RSi(OR¹)₃表示的硅烷化合物和由通式(2)：Si(OR¹)₄表示的硅烷化合物在碱性催化剂的存在下水解、缩合而获得，其预烘烤后的膜在5重量%TMAH水溶液中的溶解度为/秒以下，该聚硅氧烷(Ib)通过将至少前述通式(1)所示的硅烷化合物在酸性或者碱性催化剂的存在下水解、缩合而获得，其预烘烤后的膜在2.38重量%TMAH水溶液中的溶解度为/秒以上。(式中，R表示任意的亚甲基可被氧取代的碳原子数1～20的直链状、支链状或者环状烷基，或者碳原子数6～20且任意的氢可被氟取代的芳基，R¹表示碳原子数1～5的烷基。)

主权项

1.一种正型感光性硅氧烷组合物，其特征在于，其为含有(I)在四甲基氢氧化铵水溶液中溶解速度不同的至少两种以上的聚硅氧烷、(II)重氮基萘醌衍生物以及(III)溶剂的正型感光性硅氧烷组合物，所述聚硅氧烷(I)是聚硅氧烷(Ia)和聚硅氧烷(Ib)的混合物，所述聚硅氧烷(Ia)是通过将通式(1)所示的硅烷化合物和通式(2)所示的硅烷化合物在碱性催化剂的存在下水解、缩合而获得的，其预烘烤后的膜可溶于5重量%四甲基氢氧化铵水溶液，其溶解速度为/秒以下，聚硅氧烷(Ib)是通过将至少通式(1)所示的硅烷化合物在酸性或者碱性催化剂的存在下水解、缩合而获得的，其预烘烤后的膜在2.38重量%四甲基氢氧化铵水溶液中的溶解速度为/秒以上，通式(1)：RSi(OR¹)₃，通式(2)：Si(OR¹)₄，式中，R表示任意的亚甲基可被氧取代的碳原子数1～20的直链状、支链状或者环状烷基，或者碳原子数6～20且任意的氢可被氟取代的芳基，R¹表示碳原子数1～5的烷基。