[发明专利]CMOS成像器的带电粒子收集器无效

专利信息
申请号: 201180040266.3 申请日: 2011-07-11
公开(公告)号: CN103125009A 公开(公告)日: 2013-05-29
发明(设计)人: 丹·韦斯利·奇尔科特;威廉·J·巴尼;约翰·理查德·特罗克塞尔 申请(专利权)人: 安立世
主分类号: H01J31/58 分类号: H01J31/58;H01J29/39;H01J9/233
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 李向英
地址: 美国弗*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 提供了带电粒子感应设备和形成带电粒子感应设备的方法。带电粒子感应设备包括带电粒子源,用于接收第一部分带电粒子的多个收集器电极,以及在多个收集器电极周围形成的并与多个收集器电极间隔的网格。网格接收第二部分带电粒子并将响应于所述第二部分所生成的反向散射的带电粒子定向到相邻的收集器电极。
搜索关键词: cmos 成像 带电 粒子 收集
【主权项】:
一种带电粒子感应设备,包括:带电粒子源;用于从所述带电粒子源接收第一部分带电粒子的多个收集器电极;以及在所述多个收集器电极周围形成并与多个收集器电极间隔的网格,所述网格从带电粒子源接收第二部分带电粒子,并将响应于所述第二部分所生成的反向散射的带电粒子定向到相邻的收集器电极。
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