[发明专利]研磨用组合物及使用其的研磨方法有效
| 申请号： | 201180040355.8 | 申请日： | 2011-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN103180101A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 水野敬广;横田周吾;大和泰之;赤塚朝彦 | 申请（专利权）人： | 福吉米株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;C09K3/14;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的研磨用组合物，其特征在于，其为在研磨氮化硅的用途中使用的研磨用组合物，其含有固定化有磺酸、羧酸这样的有机酸的胶体二氧化硅，研磨用组合物的pH为6以下。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 组合 使用 方法 | ||
【主权项】：
一种研磨用组合物，其为在研磨氮化硅的用途中使用的研磨用组合物，其含有固定化有有机酸的胶体二氧化硅，研磨用组合物的pH为6以下。
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