[发明专利]振动发电元件以及具备该元件的振动发电装置

摘要

振动发电元件包括含有支撑部及悬臂部的基底基板、以及用于根据悬臂部的振动而产生交流电的发电部。发电部包括下部电极，其在基底基板的一个表面侧与悬臂部重叠地形成；第1压电层，形成在从悬臂部观察时的下部电极的相反侧；中间电极，形成在从下部电极观察时的第1压电层的相反侧；第2压电层，形成在从第1压电层观察时的中间电极的相反侧；以及上部电极，形成在从中间电极观察时的第2电极的相反侧。

主权项

一种振动发电元件，其特征为，具备：基底基板，具备支撑部、以及能够自由摆动地被该支撑部支撑的悬臂部；以及发电部，形成于上述悬臂部，并构成为根据上述悬臂部的振动而产生交流电，上述发电部具备：下部电极，与上述悬臂部重叠地形成在上述基底基板的一个表面侧；第1压电层，形成在从上述悬臂部观察时的该下部电极的相反侧；中间电极，形成在从上述下部电极观察时的该第1压电层的相反侧；第2压电层，形成在从上述第1压电层观察时的该中间电极的相反侧；以及上部电极，形成在从上述中间电极观察时的该第2压电层的相反侧。