[发明专利]具有陶瓷涂布的晶体生长装置及防止晶体生长装置中熔化物质溃决的方法

摘要

一种防止熔化物质在晶体生长装置内溃决的方法，包含提供以陶瓷涂布的晶体生长装置的腔室。该腔室可在内表面上涂布，以防止钢制的腔室本身毁损、防止水冷室蒸气爆炸。陶瓷包覆层也可设在腔室的涂布内表面之上。因此，能够制作高品质的晶体产品，同时在熔化物质溢出时将损害及成本降到最低。

主权项

一种晶体生长装置，包含：腔室；坩锅，其置于该腔室内，该坩锅配置以至少容置充填料；以及至少一个加热组件，其用于加热且至少部分熔化该坩锅内的该充填料，以形成熔化物质，其中，该腔室具有内壁，该内壁具有内表面，该内表面的至少一部分具有防止该熔化物质通过该腔室的该内壁而漏出的陶瓷涂布。