[发明专利]端口门定位装置及相关的方法

摘要

一种装载端口具有端口门和带开口的框体，所述端口门通过所述开口与用于保持半导体工件的容器的容器门进行交接。在一个实施例中，活动的关闭机构连接到端口门并且限定成相对于端口门和框体两者能够以受控的方式活动。在此实施例中，静止的关闭机构设置在框体上接近于所述开口。在另一个实施例中，静止的关闭机构连接到端口门，并且活动的关闭机构设置在框体上接近于所述开口。在该两个实施例中，活动的关闭机构限定成与静止的关闭机构进行接合，使得活动的关闭机构与静止的关闭机构进行接合的运动在端口门与容器门之间施加闭合力。

主权项

一种装载端口，包括：具有前表面、后表面、以及第一和第二竖直侧表面的端口门，其中，所述端口门的前表面限定成当存在用于保持半导体工件的容器时，与该容器的容器门进行交接；框体，其限定成具有开口，而所述端口门通过所述开口与所述容器门进行交接；定位设备，连接到所述端口门以提供所述端口门的受控的定位和运动；活动的关闭机构，连接到所述端口门的后表面，以向外延伸超出所述端口门的第一和第二竖直侧表面的每一个；所述活动的关闭机构限定成相对于所述端口门和所述框体两者能够以受控的方式活动；和静止的关闭机构，设置在所述框体上接近于所述框体的开口，并且限定成与所述活动的关闭机构进行接合，其中，所述活动的关闭机构与所述静止的关闭机构进行接合的运动，在所述端口门的前表面与所述容器门之间施加闭合力。