[发明专利]传感器及其制造方法

摘要

一种传感器，尤其是压力传感器，具有：结构，其包括支撑体（10）；电路装置（4），包括电路部件（3a、3b、3c、3d），在其中检测装置（3c）用于生成表示要被检测的量的电信号；以及至少一个电路支撑件（4a），其被连接到所述支撑体（10）并且具有表面，在所述表面上形成多个所述电路部件（3a、3b、3c、3d），在其中导电路径（3a、3b），其中所述电路支撑件（4a）被层压在所述支撑体（10）的所述第一面（10a）上。

主权项

一种用于生产多个传感器，尤其是压力传感器的方法，所述多个传感器中的每个传感器包括：‑结构，其包括支撑体（10；10′；10″）；‑电路装置（4），其包括电路部件（3a、3b、3c、3d；3a，3b，3c，3d，15），在其中检测装置（3c，12；4a；15、15″）用于生成表示要被检测的量的电信号；以及‑至少一个电路支撑件（4a），其被连接到所述支撑体（10；10′；10″）并且具有表面，在所述表面上形成多个（3a、3b、3c、3d）所述电路部件（3a、3b、3c、3d；3a、3b、3c、3d、15），在其中导电路径（3a、3b），其中所述方法包括下列步骤：a）提供多个所述支撑体（10、10′、10″）；b）提供由电绝缘材料（1），尤其是介电材料制成的带；c）在一段所述带（1）上沉积为形成多个电路图案（3）所需的一种或多种材料，每个所述电路图案（3）包括多个（3a、3b、3c、3d）所述电路部件（3a、3b、3c、3d；3a、3b、3c、3d、15）；d）使承载所述多个电路图案（3）的所述一段带（1）经受干燥；e）使所述一段带（1）经受分割，即，经受从该段自身去除其各个子部分，每个子部分包括各自的电路图案（3），每个子部分形成一个所述电路支撑件（4a）；以及f）经由层压将每个电路支撑件（4a）固定在对应的支撑体（10；10′；10″）的第一面（10a；10a′；10a″）上，尤其是经由热层压、或压缩，偕同随后的烘烤。