[发明专利]多孔板表面检查方法以及多孔板表面检查装置

摘要

本发明的目的是提供一种能够正确检查在多孔板的表面的污垢、伤痕、电镀不良、异物附着等的多孔板表面检查方法以及装置。本发明从多孔板W的表面侧照射反射用的照明光，并且从多孔板W的背面侧照射背光用的照明光，利用摄像部4对多孔板W的表面Wa进行摄像。然后，基于此影像，测定在多孔板W的表面Wa反射的反射光12的光量和透过多孔板W的透孔部Wc的透过光11的光量，为了使这两个光量相同并且在事先设定的范围内，调节反射用的照明光和背光用的照明光的光量。然后，在光量已调节的状态，对多孔板W的表面Wa进行摄像，基于此摄像的影像检查多孔板W的表面Wa的缺陷。

主权项

一种多孔板表面检查方法，其特征在于，所述多孔板表面检查方法是对具有多个透孔部的多孔板进行摄像，且基于该摄像的影像来检查所述多孔板的表面的多孔板表面检查方法，所述多孔板表面检查方法包括：对于所述多孔板从该多孔板的表面侧照射反射用的照明光，并且从所述多孔板的背面侧照射背光用的照明光的步骤；从所述多孔板的表面侧对所述多孔板的表面进行摄像的步骤；基于该摄像的影像测定在所述多孔板的表面反射的反射光的光量和透过所述多孔板的孔部的透过光的光量的步骤；为了使所述反射光的光量和所述透过光的光量相同并且变成在预先设定的范围的光量，调节所述反射用的照明光和所述背光用的照明光的光量的步骤；以及在所述光量已调节的状态，对所述多孔板的表面进行摄像，基于此摄像的影像检查所述多孔板的缺陷的步骤。