[发明专利]铈系研磨材料有效
| 申请号： | 201180046321.X | 申请日： | 2011-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN103124615A | 公开（公告）日： | 2013-05-29 |
| 发明（设计）人： | 大贯佳;永石刚 | 申请（专利权）人： | 三井金属矿业株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;C09K3/14;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 胡烨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供研磨速度快，能够实现研磨损伤的发生极大减少的研磨面的铈系研磨材料。本发明是含有F，且含有稀土类元素的Ce和选自14种Ce以外的稀土类元素Y、La、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu的一种稀土类元素（RE*）的铈系研磨材料，该研磨材料中的F含量为5.0～15.0质量%，氧化铈的质量占总稀土类氧化物换算质量的比例为48质量%～90质量%、RE*的氧化物的质量占总稀土类氧化物换算质量的比例为8质量%～50质量%、CeO2和RE*的氧化物的合计质量占总稀土类氧化物换算质量的比例为98质量%以上，选自从Y、La、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu这14种除去稀土类元素RE*后的13种中的稀土类元素满足上述13种ORE的各氧化物的质量占总稀土类氧化物换算质量（TREO）的比例为0.5质量%以下。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 材料 | ||
【主权项】：
铈系研磨材料，它是含有F，且以含有作为稀土类元素的Ce和选自14种Ce以外的稀土类元素Y、La、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu的一种稀土类元素RE*的稀土类氧化物为主成分的铈系研磨材料，所述铈系研磨材料中的F含量为5.0～15.0质量%，氧化铈CeO2的质量占总稀土类氧化物换算质量TREO的比例CeO2/TREO为48质量%～90质量%、铈以外的一种稀土类元素的氧化物RE*O的质量占总稀土类氧化物换算质量TREO的比例RE*O/TREO为8质量%～50质量%、氧化铈和铈以外的一种稀土类元素的氧化物RE*O的合计质量占总稀土类氧化物换算质量TREO的比例（CeO2+RE*O）/TREO为98质量%以上，选自从Y、La、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu这14种除去稀土类元素RE*后的13种中的稀土类元素ORE满足所述13种ORE的各氧化物、即、各OREO的质量占总稀土类氧化物换算质量TREO的比例（各OREO）/TREO为0.5质量%以下。
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