[发明专利]蒸镀方法、蒸镀装置和有机EL显示装置有效
| 申请号： | 201180046519.8 | 申请日： | 2011-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN103124803A | 公开（公告）日： | 2013-05-29 |
| 发明（设计）人： | 园田通;川户伸一;井上智 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一边使基板(10)相对于蒸镀掩模(70)在隔开固定间隔分离的状态下相对移动，一边使从蒸镀源(60)的蒸镀源开口(61)放出的蒸镀颗粒(91)通过蒸镀掩模的掩模开口(71)附着于基板，形成覆膜(90)。设与基板的法线方向正交并且与基板的相对移动方向正交的方向为第一方向、基板的法线方向为第二方向时，在蒸镀源开口和蒸镀掩模之间，沿第一方向配置有各自包括沿第二方向排列的多个控制板(80a、80b)的多个控制板列。由此，能够在大型的基板上形成抑制了端缘的模糊及其偏差的覆膜。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 装置 有机 el 显示装置 | ||
【主权项】：
一种蒸镀方法，其特征在于：所述蒸镀方法是在基板上形成规定图案的覆膜的蒸镀方法，该蒸镀方法具有使蒸镀颗粒附着于所述基板上而形成所述覆膜的蒸镀工序，所述蒸镀工序为如下工序：使用包括具备放出所述蒸镀颗粒的蒸镀源开口的蒸镀源和配置于所述蒸镀源开口与所述基板之间的蒸镀掩模的蒸镀单元，在使所述基板和所述蒸镀掩模隔开固定间隔的状态下，一边使所述基板和所述蒸镀单元中的一个相对于另一个相对移动，一边使通过在所述蒸镀掩模形成的多个掩模开口的所述蒸镀颗粒附着于所述基板，设与所述基板的法线方向正交并且与所述基板和所述蒸镀单元的相对移动方向正交的方向为第一方向、所述基板的法线方向为第二方向时，在所述蒸镀源开口与所述蒸镀掩模之间，沿所述第一方向配置有各自包括沿所述第二方向排列的多个控制板的多个控制板列。
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