[发明专利]复合氧化物烧结体及其制造方法、溅射靶材、以及氧化物透明导电膜及其制造方法

摘要

本发明提供一种复合氧化物烧结体（2）及其制造方法，所述复合氧化物烧结体（2）主要由锌、铝、钛和氧构成的复合氧化物烧结体（2），其元素的原子比满足下述式（1）～（3），其是由含有作为主要成分的氧化锌且平均粒径为20μm以下的具有六方晶系纤维锌矿型结构的颗粒、以及含有铝和钛且平均粒径为5μm以下的具有ZnTiO3型类似结构和/或Zn2Ti3O8型类似结构的颗粒形成的，且其不含固溶有锌和铝的铝酸锌的具有尖晶石氧化物结构的颗粒。（Al＋Ti）/（Zn＋Al＋Ti）＝0.004～0.055（1）Al/（Zn＋Al＋Ti）＝0.002～0.025（2）Ti/（Zn＋Al＋Ti）＝0.002～0.048（3）［上述式中，Al、Ti、Zn分别表示铝、钛和锌的含量（原子%）］。

主权项

一种复合氧化物烧结体，其主要由锌、铝、钛和氧构成，构成该烧结体的元素的原子比满足下述式（1）、（2）和（3），该烧结体由含有作为主要成分的氧化锌且平均粒径为20μm以下的具有六方晶系纤维锌矿型结构的颗粒、以及含有铝和钛且平均粒径为5μm以下的具有ZnTiO3型类似结构和/或Zn2Ti3O8型类似结构的颗粒构成，且其不含固溶有锌和铝的铝酸锌的具有尖晶石氧化物结构的颗粒，（Al＋Ti）/（Zn＋Al＋Ti）＝0.004～0.055    （1）Al/（Zn＋Al＋Ti）＝0.002～0.025    （2）Ti/（Zn＋Al＋Ti）＝0.002～0.048    （3）在上述式（1）、（2）和（3）中，Al、Ti、Zn分别表示铝、钛和锌的含量（原子%）。