[发明专利]自旋注入电极的制造方法有效
申请号: | 201180047668.6 | 申请日: | 2011-11-21 |
公开(公告)号: | CN103125025A | 公开(公告)日: | 2013-05-29 |
发明(设计)人: | 小田川明弘;松川望 | 申请(专利权)人: | 松下电器产业株式会社 |
主分类号: | H01L29/82 | 分类号: | H01L29/82;C01B31/02 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的制造方法包括:第一步骤,准备多层石墨烯和作为与所述石墨烯接触的铁磁性体的、含Fe3O4的铁氧化物;和第二步骤,在石墨烯与铁氧化物之间施加以石墨烯一侧为正的电压或电流,使石墨烯的一部分或石墨烯与Fe3O4的一部分氧化、在石墨烯与铁氧化物之间形成由氧化石墨烯或氧化石墨烯与Fe2O3构成的势垒层,由此形成自旋注入电极,该自旋注入电极具有石墨烯、铁氧化物和配置在石墨烯与铁氧化物的界面的势垒层,能够从铁氧化物经势垒层向石墨烯注入自旋。根据本发明的制造方法,能够得到能够实现对于石墨烯的高效率的自旋注入的自旋注入电极。 | ||
搜索关键词: | 自旋 注入 电极 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种自旋注入电极的制造方法,其特征在于,包括:第一步骤,准备多层石墨烯和作为与所述石墨烯接触的铁磁性体的、含Fe3O4的铁氧化物;和第二步骤,在所述石墨烯与所述铁氧化物之间施加以所述石墨烯一侧为正的电压或电流,通过(a)使所述石墨烯的与所述铁氧化物接触的部分氧化而成为氧化石墨烯,在所述石墨烯与所述铁氧化物之间形成由所述氧化石墨烯构成的势垒层,或(b)使所述石墨烯的与所述铁氧化物接触的部分和氧化而成为氧化石墨烯,并且使所述铁氧化物的与所述石墨烯接触的部分所含的Fe3O4氧化而成为Fe2O3,在所述石墨烯与所述铁氧化物之间形成由所述氧化石墨烯和Fe2O3构成的势垒层,形成自旋注入电极,该自旋注入电极具有所述石墨烯、所述铁氧化物和配置在所述石墨烯与所述铁氧化物的界面的所述势垒层,能够从所述铁氧化物经所述势垒层向所述石墨烯注入自旋。
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