[发明专利]硅锭制造用容器有效
| 申请号： | 201180048725.2 | 申请日： | 2011-10-03 |
| 公开（公告）号： | CN103124693A | 公开（公告）日： | 2013-05-29 |
| 发明（设计）人： | 吉泽彰;清水孝幸;朝日聪明 | 申请（专利权）人： | 吉坤日矿日石金属株式会社 |
| 主分类号： | C01B33/02 | 分类号： | C01B33/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 肖日松;杨楷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供了能够在硅锭制造中重复使用并且能够制造具有良好品质的硅锭的硅锭制造用容器。用于使硅熔融液凝固而使多晶硅生长的硅锭制造用容器为以下构成：在由氮化硅或碳化硅的多孔体构成的容器本体的内表面形成由氮化硅构成的脱模材料。另外，构成容器本体的多孔体的开口气孔率为10%以上40%以下。由于脱模材料牢固地形成于容器本体的内表面，因而能够有效地防止由于伴随硅凝固时的体积膨胀的应力而导致脱模材料损坏。另外，通过使容器的金属杂质浓度为10ppm以下，从而能够预防成为Si单晶生长的妨碍的熔融液面悬浮物SiC的生成。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 容器 | ||
【主权项】：
一种硅锭制造用容器，为用于使硅熔融液凝固而使多晶硅生长的硅锭制造用容器，其特征在于，在由氮化硅或碳化硅的多孔体构成的容器本体的内表面，形成有由氮化硅构成的脱模材料。
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