[发明专利]选择性蚀刻金属氮化物的组合物及方法有效
| 申请号： | 201180048783.5 | 申请日： | 2011-10-06 |
| 公开（公告）号： | CN103154321A | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 陈天牛;尼科勒·E·托马斯;斯蒂芬·里皮;杰弗里·A·巴内斯;埃马纽尔·I·库珀;张鹏 | 申请（专利权）人： | 高级技术材料公司 |
| 主分类号： | C23F1/02 | 分类号： | C23F1/02;C23F1/44 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 刘慧;杨青 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及用于自其上具有第一金属栅极材料(例如，氮化钛)及第二金属栅极材料(例如，氮化钽)的微电子装置，将第一金属栅极材料相对于第二金属栅极材料选择性地移除的移除组合物及方法。该移除组合物可包含氟化物或者实质上不含氟化物。该基板优选包括高k/金属栅极集成配置。 | ||
| 搜索关键词： | 选择性 蚀刻 金属 氮化物 组合 方法 | ||
【主权项】：
相对于至少第二金属栅极材料选择性地移除第一金属栅极材料的方法，该方法包括使包含该第一金属栅极材料及该第二金属栅极材料的基板与移除组合物接触，其中该移除组合物相对于该第二金属栅极材料选择性地移除该第一金属栅极材料。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于高级技术材料公司，未经高级技术材料公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201180048783.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：法兰式蜗轮蜗杆减速机
- 下一篇：一种法兰式蜗轮减速机
