[发明专利]用于形成磁场的装置及所述装置的使用方法无效
| 申请号： | 201180050326.X | 申请日： | 2011-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN103168506A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | G·勒雷;S·拉乌夫;V·N·托多罗 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H05H1/40 | 分类号： | H05H1/40;H01F7/06;H01F27/28 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本文提供用于形成磁场的装置及所述装置的使用方法。在一些实施例中，具有基本上相似尺寸的多个线圈以对称的图案围绕处理腔室安置，所述对称的图案以所述处理腔室的中心轴为中心，其中所述多个线圈经配置以产生磁场，所述磁场具有多个磁场线，所述多个磁场线基本上为同一平面的且基本上平行的。在一些实施例中，所述多个线圈包含八个线圈，所述八个线圈围绕所述处理腔室安置，其中所述八个线圈中的每一个线圈相对于所述八个线圈中的各个相邻线圈偏移约45度的角度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 形成 磁场 装置 使用方法 | ||
【主权项】：
一种用于形成磁场的装置，所述装置包含：多个线圈，所述多个线圈具有基本上相似的尺寸，所述多个线圈以对称图案围绕处理腔室安置，所述对称图案以所述处理腔室的中心轴为中心，其中所述多个线圈经配置以产生磁场，所述磁场具有多个磁场线，所述多个磁场线基本上为同一平面的且基本上平行的。
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