[发明专利]用于测量加速度，压力或类似量的微机械的装置以及相应的方法有效
| 申请号： | 201180050620.0 | 申请日： | 2011-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN103154746A | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | A.费伊;C.莱嫩巴赫;A.弗兰克;G.奥布赖恩 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;G01P15/125;G01P15/18;G01L1/14 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李永波;杨国治 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于测量加速度，压力或类似量的微机械的装置。它包括具有至少一个固定的电极的衬底，可运动地布置在衬底处的惯性质量，布置在惯性质量处的至少一个接地电极，和用于将惯性质量返回到初始位置的复位机构，其中，固定的电极和接地电极被设计在一个测量平面中，用于测量在该测量平面中的加速度，压力或类似量，和其中，固定的电极和接地电极被设计用于测量垂直于测量平面地作用于惯性质量上的加速度，压力或类似量。本发明也涉及一种相应的方法和一种相应的用途。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 加速度 压力 类似 微机 装置 以及 相应 方法 | ||
【主权项】：
用于测量加速度，压力或类似量的微机械的装置，包括具有至少一个固定的电极(1)的衬底(S)，可运动地布置在衬底(1)处的惯性质量(10)，布置在惯性质量(10)处的至少一个接地电极(2)，其中，固定的电极(1)和接地电极(2)被设计在一个测量平面(E)中，用于测量在该测量平面(E)中的加速度，压力或类似量，和其中，固定的电极(1)和接地电极(2)被设计用于测量垂直于测量平面(E)地作用于惯性质量(10)上的加速度，压力或类似量。
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