[发明专利]加热装置有效
| 申请号： | 201180050730.7 | 申请日： | 2011-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN103168014A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 近藤畅之;渡边守道;神藤明日美;胜田祐司;佐藤洋介;矶田佳范 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | C04B35/581 | 分类号： | C04B35/581;C04B35/04;H01L21/3065;H01L21/31 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 徐晓静 |
| 地址： | 日本爱知县名古*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种加热装置，其包括具有加热半导体的加热面的基座（2）和接合到该基座（2）的背面的支撑部（3）。基座（2）由以镁、铝、氧以及氮为主要成分的陶瓷材料构成，该陶瓷材料以氮氧化铝镁相为主相，且使用CuKα线时的XRD波峰至少出现在2θ=47～50°。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 装置 | ||
【主权项】：
一种加热装置，其包括具有加热半导体的加热面的基座和接合到该基座的背面的支撑部，所述加热装置特征在于，所述基座由以镁、铝、氧以及氮为主要成分的陶瓷材料构成，该陶瓷材料以氮氧化铝镁相为主相，且使用CuKα线时的XRD波峰至少出现在2θ=47～50°。
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