[发明专利]静电卡盘有效
| 申请号： | 201180051162.2 | 申请日： | 2011-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN103180266A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 相川贤一郎;渡边守道;神藤明日美;胜田祐司;佐藤洋介;矶田佳范 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | C04B35/581 | 分类号： | C04B35/581;C04B35/04;H01L21/3065;H01L21/31 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 徐晓静 |
| 地址： | 日本爱知县名古*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 静电卡盘（1A）包括具有吸附半导体的吸附面（11a）的基座（11A）与埋设到该基座内的静电卡盘电极（4）。基座（11A）包括板状主体部（3）与面对吸附面（11a）的表面耐腐蚀层（2）。表面耐腐蚀层（2）由以镁、铝、氧以及氮为主要成分的陶瓷材料构成，该陶瓷材料以氮氧化铝镁相为主相，且使用CuKα线时的XRD波峰至少出现在2θ=47～50°。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 卡盘 | ||
【主权项】：
一种静电卡盘，其包括：具有吸附半导体的吸附面的基座；与埋设到该基座内的静电卡盘电极，所述静电卡盘的特征在于，所述基座包括板状主体部与面对所述吸附面的表面耐腐蚀层，所述表面耐腐蚀层由以镁、铝、氧以及氮为主要成分的陶瓷材料构成，该陶瓷材料以氮氧化铝镁相为主相，且使用CuKα线时的XRD波峰至少出现在2θ=47～50°。
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