[发明专利]用于制作至少一个集成电路组件的互连或重定向线路的方法在审
申请号: | 201180052550.2 | 申请日: | 2011-10-18 |
公开(公告)号: | CN103168348A | 公开(公告)日: | 2013-06-19 |
发明(设计)人: | B.迪博瓦;R.科舒瓦 | 申请(专利权)人: | 格马尔托股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L23/538 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 叶晓勇;李浩 |
地址: | 法国*** | 国省代码: | 法国;FR |
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摘要: | 本发明涉及用于制作集成电路组件1的互连线路(3)的过程,所述过程包括下列步骤:将至少一个芯片(2)固定或者部分封装到载板(4)上,使得芯片的有源侧(8)朝外部定向,所述集成电路组件具有放置在芯片的有源侧上的电接触垫(5a、5b、15a、15b);直接制作有源区上的绝缘层(6、16)而没有覆盖接触垫;以及制作至少部分在所述绝缘层之上从接触垫(5)一直延伸到位于载板上的外部点(p)的导电重定向/互连线路(3),绝缘层(16、26)包括形成从芯片的有源区的一个边缘(20、40)一直延伸到载板的表面(S)的桥的至少一部分。该过程的特征在于,所述外部点位于载板上,以及通过留下桥,导电重定向或互连轨线(3)一直延伸到载板上的所述点。本发明还涉及相应的组件。 | ||
搜索关键词: | 用于 制作 至少 一个 集成电路 组件 互连 定向 线路 方法 | ||
【主权项】:
一种用于制作集成电路组件1上的互连线路(3)的方法,所述方法包括下列步骤:‑将至少一个芯片(2)固定或部分覆盖在载板(4)上,以使得提供朝外部定向的所述芯片的有源面(8),所述集成电路组件具有设置在所述芯片的有源面上的电接触垫(5a,5b,15a,15b),‑直接 在所述有源表面上制作绝缘层(6,16)而没有覆盖所述接触垫或者可用于组件的应用的至少那些接触垫,所述绝缘层(16,26)包括构成从所述芯片的所述有源表面的一个边缘(20,40)一直延伸到所述载板的所述表面(S)的桥的至少一部分,‑制作至少部分在所述绝缘层之上从所述接触垫(5a,5b,15a,15b)一直延伸到外部点(p)的导电重定向或互连轨线(3),其特征在于,所述导电重定向或互连轨线(3)一直延伸到所述载板上设置的所述点,从而留下所述桥。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造