[发明专利]用于制作至少一个集成电路组件的互连或重定向线路的方法在审

专利信息
申请号: 201180052550.2 申请日: 2011-10-18
公开(公告)号: CN103168348A 公开(公告)日: 2013-06-19
发明(设计)人: B.迪博瓦;R.科舒瓦 申请(专利权)人: 格马尔托股份有限公司
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48;H01L23/538
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 叶晓勇;李浩
地址: 法国*** 国省代码: 法国;FR
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明涉及用于制作集成电路组件1的互连线路(3)的过程,所述过程包括下列步骤:将至少一个芯片(2)固定或者部分封装到载板(4)上,使得芯片的有源侧(8)朝外部定向,所述集成电路组件具有放置在芯片的有源侧上的电接触垫(5a、5b、15a、15b);直接制作有源区上的绝缘层(6、16)而没有覆盖接触垫;以及制作至少部分在所述绝缘层之上从接触垫(5)一直延伸到位于载板上的外部点(p)的导电重定向/互连线路(3),绝缘层(16、26)包括形成从芯片的有源区的一个边缘(20、40)一直延伸到载板的表面(S)的桥的至少一部分。该过程的特征在于,所述外部点位于载板上,以及通过留下桥,导电重定向或互连轨线(3)一直延伸到载板上的所述点。本发明还涉及相应的组件。
搜索关键词: 用于 制作 至少 一个 集成电路 组件 互连 定向 线路 方法
【主权项】:
一种用于制作集成电路组件1上的互连线路(3)的方法,所述方法包括下列步骤:‑将至少一个芯片(2)固定或部分覆盖在载板(4)上,以使得提供朝外部定向的所述芯片的有源面(8),所述集成电路组件具有设置在所述芯片的有源面上的电接触垫(5a,5b,15a,15b),‑直接  在所述有源表面上制作绝缘层(6,16)而没有覆盖所述接触垫或者可用于组件的应用的至少那些接触垫,所述绝缘层(16,26)包括构成从所述芯片的所述有源表面的一个边缘(20,40)一直延伸到所述载板的所述表面(S)的桥的至少一部分,‑制作至少部分在所述绝缘层之上从所述接触垫(5a,5b,15a,15b)一直延伸到外部点(p)的导电重定向或互连轨线(3),其特征在于,所述导电重定向或互连轨线(3)一直延伸到所述载板上设置的所述点,从而留下所述桥。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于格马尔托股份有限公司,未经格马尔托股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201180052550.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top