[发明专利]正型光致抗蚀剂组合物有效
| 申请号： | 201180054438.2 | 申请日： | 2011-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN103270451A | 公开（公告）日： | 2013-08-28 |
| 发明（设计）人： | 今田知之;鹿毛孝和;今泉规史 | 申请（专利权）人： | DIC株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/023 | 分类号： | G03F7/023;C08G8/20 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明提供一种正型光致抗蚀剂组合物，其特征在于，其含有将下述通式（1）或（2）所示的芳香族化合物（A）和脂肪族醛（B）缩聚而得到的酚醛清漆型酚醛树脂（C）作为必需成分。该正型光致抗蚀剂组合物以高水平兼具至今难以兼具的灵敏度和耐热性，能够适宜用作由于近年来的高度集成化而需要更细线化的图案制作的IC、LSI等半导体制造、LCD等显示装置制造、印刷原版制造等中使用的正型光致抗蚀剂。（式中，R1、R2和R3分别独立地为碳原子数1～8的烷基。另外，m、n和p分别独立地为0～4的整数，q为1～（5-p）的整数，s为1～（9-p）的整数。） |
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| 搜索关键词： | 正型光致抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种正型光致抗蚀剂组合物，其特征在于，其含有将下述通式（1）或（2）所示的芳香族化合物（A）和脂肪族醛化合物（B）缩聚而得到的酚醛清漆型酚醛树脂（C）作为必需成分，[化学式1]![]()
式中，R1、R2和R3分别独立地为碳原子数1～8的烷基，另外，m、n和p分别独立地为0～4的整数，q为1～（5-p）的整数，s为1～（9-p）的整数。
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