[发明专利]用于光电应用的沉积方法和装置

摘要

本发明提供一种通过在衬底上沉积各种组分层并将所述组分转化为薄膜光电吸收材料来制造太阳能电池的方法。本发明的方法可用于在制造太阳能电池的过程中控制金属原子的化学计量以得到特定浓度，并提供金属原子浓度梯度。在使薄膜光电吸收材料退火的过程中可使用硒层。

主权项

一种在衬底上制造薄膜太阳能电池的方法，其包括：(a)提供涂布有电接触层的衬底；(b)在所述衬底的所述接触层上沉积第一油墨的初始层，其中所述第一油墨包含在量上富含第11族原子的第一聚合前体化合物；(c)加热所述初始层；(d)在所述初始层上沉积第二油墨的主要层，其中所述第二油墨包含在量上缺乏第11族原子的第二聚合前体化合物；及(e)加热所述初始层和所述主要层。