[发明专利]感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图案的形成方法以及印刷布线板的制造方法无效
| 申请号： | 201180055210.5 | 申请日： | 2011-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN103221887A | 公开（公告）日： | 2013-07-24 |
| 发明（设计）人： | 宫坂昌宏;远藤昌树;栉田昌孝;村松有纪子;锻治诚 | 申请（专利权）人： | 日立化成株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/033 | 分类号： | G03F7/033;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/029 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 白丽;陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种感光性树脂组合物，其含有：具有基于（甲基）丙烯酸的结构单元且分散度（重均分子量/数均分子量）为1.6以下的粘合剂聚合物、光聚合性化合物、光聚合引发剂以及增感色素。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 元件 图案 形成 方法 以及 印刷 布线 制造 | ||
【主权项】：
一种感光性树脂组合物，其含有：具有基于（甲基）丙烯酸的结构单元且分散度为1.6以下的粘合剂聚合物、光聚合性化合物、光聚合引发剂以及增感色素。
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