[发明专利]锌气体的供给方法以及供给装置无效
| 申请号： | 201180057174.6 | 申请日： | 2011-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN103282308A | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 大久保秀一;渊上俊光;岩田好喜 | 申请（专利权）人： | 捷恩智株式会社;JX日鉱日石金属株式会社;东邦钛株式会社;吉坤工程株式会社 |
| 主分类号： | C01B33/033 | 分类号： | C01B33/033;F27B14/06;F27B14/20;C22B19/16 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 日本东京千代田区大手町二丁*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种以经控制的供给速度供给过度加热至锌的沸点以上的锌气体的方法及装置。本发明的锌气体的供给方法包括：在锌气体蒸发装置中导入熔体锌的步骤；输入与锌气体的供给速度相对应的电力，藉由高频感应加热使锌自己发热而由熔体锌产生锌气体的步骤；将所产生的锌气体导入至气体加热装置的步骤；以及藉由电阻加热将锌气体加热而制成过度加热的锌气体的步骤。本发明的锌气体的供给装置是用于上述方法，并包括锌气体蒸发装置、气体加热装置及控制装置。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 供给 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
一种锌气体的供给方法，其特征在于，包括：在锌气体蒸发装置中导入熔体锌的步骤（1）；输入与锌气体的供给速度相对应的电力，藉由高频感应加热使锌自己发热而由上述熔体锌产生上述锌气体的步骤（2）；将所产生的上述锌气体导入至气体加热装置的步骤（3）；以及藉由电阻加热将上述锌气体加热而制成过度加热的上述锌气体的步骤（4）。
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