[发明专利]半导体材料固结和/或结晶系统的热交换器有效
申请号: | 201180057228.9 | 申请日: | 2011-11-29 |
公开(公告)号: | CN103228823A | 公开(公告)日: | 2013-07-31 |
发明(设计)人: | E·皮昂;D·卡梅尔;N·库迪里耶 | 申请(专利权)人: | 原子能及能源替代委员会 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B29/06;H01L23/367;F28F3/04 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 李丽 |
地址: | 法国*** | 国省代码: | 法国;FR |
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摘要: | 半导体材料固结和/或结晶系统的热交换器(1),其包括第一构件(2)和第二构件(3),第一构件和第二构件可相对于彼此移动,其特征在于,第一构件包括第一起伏部(21),第二构件包括第二起伏部(31),第一起伏部用于同第二起伏部相配合。 | ||
搜索关键词: | 半导体材料 固结 结晶 系统 热交换器 | ||
【主权项】:
热交换器(1),尤其是半导体材料固结和/或结晶系统的热交换器,所述热交换器包括第一构件(2;2a;2b;2c;2d;2e;2f;2g;2h;2i;2j)和第二构件(3;3a;3b;3c;3d;3e;3f;3g;3h;3i;3j),所述第一构件和所述第二构件能相对于彼此移动,其特征在于,所述第一构件包括第一起伏部(21),所述第二构件包括第二起伏部(31),所述第一起伏部用于与所述第二起伏部相配合;并且,所述热交换器还包括移动元件(9),所述移动元件使所述第一构件相对于所述第二构件移动,允许控制交换的热通量。
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