[发明专利]在玻璃中形成高密度孔阵列的方法有效
| 申请号： | 201180057698.5 | 申请日： | 2011-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN103237771B | 公开（公告）日： | 2016-10-19 |
| 发明（设计）人： | H·D·博克;R·C·伯克特;D·R·哈维;A·M·斯特列利佐夫 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00;C03C23/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 项丹 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了一种在玻璃中制造高密度孔阵列的方法，该方法包括以下步骤：提供具有前表面的玻璃片，然后用UV激光束照射玻璃片的前表面，照射的焦点在玻璃片前表面的+/‑100μm内，最优选在玻璃片前表面的+/‑50μm内。对于厚度在0.3‑0.63mm之间的玻璃，聚焦激光的透镜的数值孔径优选在0.1‑0.4的范围内，更优选在0.1‑0.15的范围内，甚至更优选在0.12‑0.13的范围内，从而产生从玻璃片的前表面102延伸进入玻璃片100的开孔，所述开孔的直径在5‑15μm的范围内，长宽比至少为20:1。对于在0.1‑0.3mm范围内的更薄的玻璃，数值孔径优选为0.25‑0.4，更优选为0.25‑0.3，并且激光束优选聚焦在玻璃前表面+/‑30μm内。优选以小于或等于约15kHz的重复频率运行激光。然后可以通过蚀刻来扩大所产生的孔阵列。如果需要的话，可以在蚀刻之前对前表面进行抛光。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 形成 高密度 阵列 方法 | ||
【主权项】：
一种在玻璃中制造高密度孔阵列的方法，该方法包括：提供具有前表面的玻璃片；用UV激光束照射所述玻璃片的前表面，用透镜将所述激光束聚焦在玻璃片前表面的+/‑100μm内，所述透镜的数值孔径在0.1‑0.4的范围内，从而产生从玻璃片的前表面延伸进入玻璃片中的开孔，所述开孔的直径在5‑15μm的范围内，长宽比至少为20:1。
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