[发明专利]氧化锌烧结体、溅射靶材以及氧化锌薄膜有效
| 申请号： | 201180058840.8 | 申请日： | 2011-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN103249693B | 公开（公告）日： | 2017-12-08 |
| 发明（设计）人： | 召田雅实;仓持豪人;饭草仁志;尾身健治;涩田见哲夫 | 申请（专利权）人： | 东曹株式会社 |
| 主分类号： | C04B35/453 | 分类号： | C04B35/453;C23C14/08;C23C14/34;H01L21/363 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 | 代理人： | 刘新宇,李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种锆的含量为10～1000ppm的氧化锌烧结体、以及由该氧化锌烧结体形成的溅射靶材。另外，本发明提供一种锆的含量为10～2000ppm、电阻率为10Ω·cm以上的氧化锌薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化锌 烧结 溅射 以及 薄膜 | ||
【主权项】：
一种氧化锌烧结体，组成为：作为主要成分的氧化锌、和30～1000ppm的锆，该烧结体的抗折强度为40MPa以上。
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