[发明专利]基板保管装置无效
| 申请号： | 201180059818.5 | 申请日： | 2011-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN103261066A | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 浜田智秀;木内彻;铃木智也 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | B65H75/36 | 分类号： | B65H75/36 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 韩嫚嫚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的基板保管装置(STR)，具备：容器(CT)，具有收容树脂薄膜等的可挠性基板(S)的收容室(RM)；窗部(W)，设于容器(CT)；以及基板搬送部(CV)，以基板(S)的一部分与窗部(W)对向的方式搬送基板。容器(CT)具有连接于处理装置(PA)的连接部(J)。无端状基板(S)通过张挂且折返于滚筒(11～66)收容于收容室(RM)内。一部分滚筒(29、33、65)可移动于Z方向，且通过该等移动调整基板(S)的张力。基板(S)的一部分(Sc)从窗部拉出至外部，将其部分(Sc)以装置(PA)的处理部(95)进行处理。窗部(W)可以滑件(SL)关闭。可抑制异物附着在基板(S)。 | ||
| 搜索关键词： | 保管 装置 | ||
【主权项】：
一种基板保管装置，具备：容器，具有收容具可挠性的基板的收容室；窗部，设于前述容器；以及基板搬送部，以收容在该收容室的该基板的一部分与该窗部对向的方式搬送该基板。
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