[发明专利]含有氟代醇的分子光致抗蚀剂材料及其使用方法无效
| 申请号： | 201180060130.9 | 申请日： | 2011-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN103261137A | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | E·A·德希尔瓦;L·K·桑德伯格;R·苏里亚库马兰;G·布雷塔;L·D·玻加诺;W·辛斯伯格 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | C07C39/367 | 分类号： | C07C39/367;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 徐国栋;林柏楠 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 酚醛分子玻璃如杯芳烃包含至少一种含氟代醇的单元，该含氟代醇的分子玻璃可用于光致抗蚀剂组合物。本发明还公开了利用该光致抗蚀剂组合物在基质上产生光致防蚀影像的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 含有 氟代醇 分子 光致抗蚀剂 材料 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
一种酚醛分子玻璃，其具有至少一种含氟代醇的单元。
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