[发明专利]具有耐熔中间层和VPS焦点轨迹的阳极盘元件有效
| 申请号： | 201180060230.1 | 申请日： | 2011-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN103370764A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | K·C·克拉夫特;M-W·P·徐;M·何;G·J·卡尔森 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J35/10 | 分类号： | H01J35/10;H01J9/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈松涛;王英 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 通过建立诸如碳加强的碳复合材料之类的碳衬底或者其它陶瓷衬底（50）来形成阳极（30）。在陶瓷衬底上电镀可延展耐熔金属，以便至少在焦点轨迹部分（36）上形成耐熔金属碳化物层（52）以及可延展耐熔金属层（54）。在可延展耐熔金属层上真空等离子体喷涂高-Z耐熔金属，以便至少在所述焦点轨迹部分上形成真空等离子体喷涂的高-Z耐熔金属层（56）。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 中间层 vps 焦点 轨迹 阳极 元件 | ||
【主权项】：
一种阳极（30），包括：碳或陶瓷衬底（50）；耐熔金属碳化物层（52），至少覆盖所述衬底的焦点轨迹部分（36）；可延展耐熔金属层（54），至少在所述焦点轨迹部分上覆盖所述碳化物层（52）；以及真空等离子体喷涂的高‑Z耐熔金属层（56），至少在所述焦点轨迹部分上覆盖所述可延展耐熔金属层（54）。
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