[发明专利]压力传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 201180060295.6 | 申请日： | 2011-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN103261866A | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 彼得·泽尔德斯;安德烈亚斯·罗斯贝格;迪特尔·施米特;安德烈·贝林格尔 | 申请（专利权）人： | 恩德莱斯和豪瑟尔两合公司 |
| 主分类号： | G01L7/08 | 分类号： | G01L7/08;G01L9/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 关兆辉;谢丽娜 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种制造压力传感器的方法，所述方法包括：提供陶瓷平台、陶瓷测量膜和中间环；通过气相沉积，至少在第一表面的第一表面段上和第二表面的第二表面段上提供活性钎焊材料，其中所述第一表面是借助所述活性硬焊料或钎焊料要与所述中间环连接的平台表面、或者是借助所述活性硬焊料或钎焊料要与所述平台连接的所述中间环的表面；其中所述第二表面是借助所述活性硬焊料或钎焊料要与所述中间环连接的测量膜表面、或是借助所述活性硬焊料或钎焊料要与所述测量膜连接的所述中间环的表面；将所述中间环布置在所述测量膜和所述平台之间；和在焊接或钎焊工艺中加热所述活性硬焊料或钎焊料，其中在所述焊接或钎焊工艺期间，所述中间环本质上保持固态。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种制造压力传感器的方法，所述方法包括：提供陶瓷平台、陶瓷测量膜和中间环；通过气相沉积，至少在第一表面的第一表面段上和第二表面的第二表面段上提供活性钎焊材料，其中所述第一表面是借助活性硬焊料或钎焊料要与所述中间环连接的平台表面、或者是借助活性硬焊料或钎焊料要与所述平台连接的所述中间环的表面；其中所述第二表面是借助活性硬焊料或钎焊料要与所述中间环连接的测量膜表面、或者是借助活性硬焊料或钎焊料要与所述测量膜连接的所述中间环的表面；将所述中间环布置在所述测量膜和所述平台之间；和在焊接或钎焊工艺中加热所述活性硬焊料或钎焊料，其中在所述焊接或钎焊工艺期间，所述中间环本质上保持固态。
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