[发明专利]用于生产结构化基板的装置

摘要

本发明涉及用于生产结构化基板的装置。所述装置包括用于将层系统涂布至转动的基板的设备(1)，该设备(1)包括用于涂布液体材料、特别是光聚合物溶液的设备(2)、壳(6)、用于待被涂覆的基板的转动保持架(3)、用于待被涂布的液体材料的进给线路(13)以及收集设备(4)，收集设备(4)包括多个用于并未保持在基板上的液体材料的移除设备(5)。用于涂布液体材料的设备(2)的壳(6)填充有特别是干燥的分子态氮的非活性气体、稀有气体或这些气体的混合物。用于生产结构化基板的装置的辅助容器和通路为气密性的并且被设计成使得非活性分子态氮或稀有气体氛围在前述容器和通路中的液体内容物的上方生成。收集设备(4)具有多个收集区域，不同的液体材料能够被选择性地收集在收集区域中并通过相关的移除设备(5)选择性地移除。由于生产流程所需的光聚合物和其它液体材料的用量能够大幅减小，所以用于生产结构化基板的装置的所述设计允许提高生产流程的品质并且显著地降低流程的成本。

主权项

一种用于生产结构化基板的装置，其具有用于将层系统涂布至基板的设备(1)，所述装置具有用于涂布液体材料以形成所述层系统的密闭室(2)，所述装置具有用于基板的转动保持架(3)和用于收集从所述基板甩掉的液体材料的收集设备(4)，所述收集设备(4)环绕所述转动保持架(3)并且被布置在用于涂布液体材料的所述密闭室(2)中，其特征在于，所述收集设备具有多个移除部件(5)，借助于所述移除部件(5)，所收集的液体材料能够被选择性地单独或成批地移除，所述密闭室(2)中的所述收集设备(4)以环形方式环绕所述保持架(3)并且具有通过分离元件(7)而彼此分离的多个收集区域，以便收集被甩掉的液体材料，并且所述收集设备(4)在朝向所述保持架(3)的一侧具有多个壁状分离元件(7)，多个所述壁状分离元件(7)形成多个设置有一个或多个移除部件(5)的、作为收集区域的环形通路(9)，所述环形通路(9)的截面为楔形。