[发明专利]氮化镓烧结体或氮化镓成形物以及它们的制造方法有效

专利信息
申请号: 201180061618.3 申请日: 2011-12-20
公开(公告)号: CN103270000A 公开(公告)日: 2013-08-28
发明(设计)人: 召田雅实;松丸庆太郎;高桥小弥太;菊池僚;涩田见哲夫 申请(专利权)人: 东曹株式会社
主分类号: C04B35/58 分类号: C04B35/58;C04B41/88;C23C14/34
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇;李茂家
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供不使用特殊装置的、高密度且低氧量的氮化镓烧结体或氮化镓成形体。根据第一实施方式,可以获得一种氮化镓烧结体,其特征在于,密度为2.5g/cm3以上且低于5.0g/cm3,基于X射线衍射测定的氧化镓的(002)面的峰相对于氮化镓的(002)面的峰强度比低于3%。根据第二实施方式,可以获得一种金属镓浸透氮化镓成形物,其特征在于,其包含以各自的相的形式存在的氮化镓相和金属镓相,Ga/(Ga+N)的摩尔比为55%以上且80%以下。
搜索关键词: 氮化 烧结 成形 以及 它们 制造 方法
【主权项】:
一种氮化镓烧结体,其特征在于,该氮化镓烧结体的密度为2.5g/cm3以上且低于5.0g/cm3,基于X射线衍射测定的氧化镓的(002)面的峰相对于氮化镓的(002)面的峰强度比低于3%。
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