[发明专利]薄膜太阳能电池的制造方法及薄膜太阳能电池有效
| 申请号： | 201180061745.3 | 申请日： | 2011-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN103270426A | 公开（公告）日： | 2013-08-28 |
| 发明（设计）人： | 立花伸介;棚村浩匡 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;H01L27/142;H01L31/20;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 岳雪兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄膜太阳能电池的制造方法及薄膜太阳能电池，薄膜太阳能电池的制造方法包括：在形成于基板（1）上的第一电极层（2）形成第一分离槽部（5、5A），从而形成各自电气性独立的多个第一电极部（2a）的工序（S101）；使测定端子（15）分别与多个第一电极部（2a）中的彼此邻接的第一电极部（2a）接触，从而确认邻接的第一电极部（2a）彼此之间的绝缘性的绝缘试验工序（S102）。薄膜太阳能电池的制造方法包括：在第一电极层（2）上形成光电转换层（3）的工序（S103）；在光电转换层（3）形成接触线用槽部（6）的工序（S104）。还包括：在光电转换层（3）上形成第二电极层（4），并且在接触线用槽部（6）内形成将第一电极层（2）与第二电极层（4）连接的接触线的工序（S105）；至少在第二电极层（4）形成第二分离槽部（7）的工序（S106）；形成从第二电极层（4）到达第一电极层（2）的、将发电区域与非发电区域分开的第三分离槽部（16）的工序（S107）。在第一电极部（2a）中，测定端子（15）所接触的区域包含在非发电区域内。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 太阳能电池 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种薄膜太阳能电池的制造方法，其特征在于，包括：在形成于基板（1）上的第一电极层（2）形成第一分离槽部（5、5A），从而形成各自电气性独立的多个第一电极部（2a）的工序（S101）；使测定端子（15）分别与所述多个第一电极部（2a）中的彼此邻接的第一电极部（2a）接触，从而确认所述邻接的第一电极部（2a）彼此之间的绝缘性的绝缘试验工序（S102）；在所述第一电极层（2）上形成光电转换层（3）的工序（S103）；在所述光电转换层（3）形成接触线用槽部（6）的工序（S104）；在所述光电转换层（3）上形成第二电极层（4），并且在所述接触线用槽部（6）内形成将所述第一电极层（2）与所述第二电极层（4）连接的接触线的工序（S105）；至少在所述第二电极层（4）形成第二分离槽部（7）的工序（S106）；形成从所述第二电极层（4）达到所述第一电极层（2）的、将发电区域与非发电区域分开的第三分离槽部（16）的工序（S107）；在所述第一电极部（2a）中，所述测定端子（15）所接触的区域包含在所述非发电区域内。
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