[发明专利]气闸和带有气闸的涂覆装置有效

专利信息
申请号: 201180062220.1 申请日: 2011-10-20
公开(公告)号: CN103370442A 公开(公告)日: 2013-10-23
发明(设计)人: 戴维·波卡扎;斯蒂芬·雷伯;马丁·阿诺德;诺伯特·希林格 申请(专利权)人: 弗劳恩霍弗应用技术研究院
主分类号: C23C16/52 分类号: C23C16/52;C23C16/54;C23C16/455
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 杨黎峰
地址: 德国*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 发明涉及一种用于分离两个气室的气闸,其使得可以以最小的空间消耗在不接触产品/离析物/输送系统的情况下实现气体分离。根据本发明的气闸的特征在于,在气闸的流动通道中存在至少一个用于操纵流动的器件。本发明同样涉及一种涂覆装置,其包括根据本发明的气闸。此外,给出了所公开的气闸的使用可能性。
搜索关键词: 气闸 带有 装置
【主权项】:
一种用于分离两个气室(G1、G2)的气闸(I),其包括:a)至少一个流入体(K),所述流入体(K)具有至少一个用于气体的流入通道(H),所述流入通道(H)通入所述流入体(K)的第一侧中,b)以与所述至少一个流入体(K)的该第一侧成间距的方式布置的壁(A),其中,在所述壁(A)和所述至少一个流入体(K)之间形成与所述流入通道(H)流连接的间隙(B),c)至少两个用于气体的流出孔(i1、i2),其与所述间隙(B)流连接,其特征在于,在所述限制所述至少一个流入体(K)的第一侧中和/或在所述壁(A)的面对所述流入体(K)的第一侧的侧中存在至少一个用于在所述间隙(B)中产生涡流的器件。
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