[发明专利]用于制造电连接载体的方法无效

专利信息
申请号: 201180062370.2 申请日: 2011-12-16
公开(公告)号: CN103270589A 公开(公告)日: 2013-08-28
发明(设计)人: 安德烈亚斯·普洛斯尔 申请(专利权)人: 欧司朗光电半导体有限公司
主分类号: H01L23/498 分类号: H01L23/498;H01L31/02;H01L33/62
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 张春水;田军锋
地址: 德国雷*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 提出一种用于制造用于光电子半导体本体的电连接载体的方法,所述方法具有下述步骤:-提供载体装置(1),所述载体装置具有载体本体(11)、设置在载体本体(11)的外面(111)上的中间层(12)和设置在中间层(12)上的有效层(13);-将在横向方向(L)上彼此间隔开地设置的至少两个开口(4)经由有效层(13)的外面(131)引入到有效层(13)中,其中开口在竖直方向(V)上完全地穿过有效层(13)延伸;-将开口(4)的侧面(41)和有效层(13)的外面(131)电绝缘;-将导电材料(6)设置在开口(4)中,其中,-在制成连接载体(100)之后,导电材料(6)在其沿着有效层(13)的外面(131)的延伸中在横向方向(L)上在相邻的开口(4)之间具有中断部(U)。
搜索关键词: 用于 制造 连接 载体 方法
【主权项】:
用于制造用于光电子半导体本体的电连接载体(100)的方法,所述方法具有下述步骤:‑提供载体装置(1),所述载体装置具有载体本体(11)、设置在所述载体本体(11)的外面(111)上的中间层(12)和设置在所述中间层(12)的背离所述载体本体(11)的外面(121)上的有效层(13);‑将在横向方向(L)上彼此间隔开地设置的至少两个开口(4)经由所述有效层(13)的背离所述载体本体(11)的外面(131)引入到所述有效层(13)中,其中所述开口在竖直方向(V)上完全地穿过所述有效层(13)延伸;‑将所述开口(4)的侧面(41)和所述有效层(13)的背离所述载体本体(11)的外面(131)电绝缘;‑将导电材料(6)至少局部地设置在所述开口(4)中,其中,‑在制成所述连接载体(100)之后,所述导电材料(6)在其沿着所述有效层(13)的外面(131)的延伸中在所述横向方向(L)上在相邻的开口(4)之间具有至少一个中断部(U)。
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